MDPlinescan在線(xiàn)少子壽命測試儀

MDPlinescan在線(xiàn)少子壽命測試儀在眾多的少子壽命測量方法中，MDP（微波檢測光電導率）采用改進(jìn)的少子壽命檢測技術(shù)，是微波檢測光電導衰減法檢測儀中常用的儀器之一，少子壽命測試儀原理從載流子輸運原理出發(fā)，建立廣義速率方程和偏微分方程系統。擁有*的靈敏度和分辨率，很大程度提升在線(xiàn)檢測的速度和質(zhì)量，快速出具少子壽命測試的實(shí)驗報告。
       

MDPlinescan被設計成一個(gè)易于集成的OEM設備，可以集成到各種自動(dòng)化檢測線(xiàn)。關(guān)鍵的是在傳送過(guò)程中進(jìn)行少子壽命掃描。樣品通常由測量頭下面的傳送帶或機器人系統攜帶。應用實(shí)例包括從晶磚到晶圓檢測，單晶少子壽命測試、多晶少子壽命測試，每塊晶圓的測量速度小于一秒。電池生產(chǎn)線(xiàn)上的來(lái)料質(zhì)量檢查是經(jīng)典的通用案例，也用于鈍化和擴散后的工藝質(zhì)量檢查，還有許多其他特殊的應用的可能性。易于集成，只需要以太網(wǎng)連接和電源。
 

MDPlinescan W       

包括一個(gè)額外的電阻率測量選項。        

MDPlinescan在線(xiàn)少子壽命測試儀優(yōu)點(diǎn)：         

◇  在µ-PCD或穩態(tài)激勵條件下線(xiàn)掃描少數載流子壽命和電阻率是這個(gè)小型設備的重要功能；        

◇  OEM設備可以集成到多晶或單晶硅片的生產(chǎn)線(xiàn)上，在不同的制備階段，直至器件、磚塊或晶錠。        

◇  小巧的尺寸和標準的自動(dòng)化接口使其易于集成。重點(diǎn)是測量結果的長(cháng)期可靠性和精確性。        

        示范性線(xiàn)狀掃描圖        

細節：                  

◇  允許單晶圓片調查                 

◇  不同的晶圓級有不同的配方        

◇  監控物料、工藝質(zhì)量和穩定性     

技術(shù)規格: